(8) 高周波誘導結合プラズマ質量（ICP-MS）分析

概要

高周波誘導結合プラズマ質量（ICP-MS）分析装置は、定量分析でppb～ppmオーダの極微量成分分析を行う場合に最適な分析装置です。分析は、固体試料を溶液化し、その溶液中にどの元素がどのくらい含んでいるかを測定することができます（定量分析）。この分析装置では、①試料導入部（ネブライザ－～スプレーチャンバー）、②励起部（トーチ～プラズマ）、③検出部（サンプリングコーン～検出器）からなる装置で、励起部にアルゴンプラズマを、検出部に四重極を使用することにより、高感度分析を可能としています。そのため、元素分析で従来から使用されている原子吸光（AA）分析装置や高周波誘導結合プラズマ発光分光（ICP-AES）分析装置に比べ、10³～10⁶倍程度の高感度分析が可能です。

適用対象

• 金属材料全般

＊）当社では、鋼中のAs、Sb、Pb、Bi、Snが分析可能

分析項目

• 試料中の元素含有量（ppb、ppm オーダの定量分析が可能）

適用例

• 鋼中の微量成分分析

機器の主な仕様

励起部

アルゴンプラズマ

検出部

四重極型質量分析計