(21) ＦＥ-ＳＥＭ（ＥＤＳ／ＥＢＳＤ付）観察

概要

電界放射電子銃式走査型電子顕微鏡（Field Emission Electron Gun type Scanning Electron Microscope；略してFE-SEM）は、汎用SEMよりも更に細く絞った電子線を試料に照射、走査することによって、より鮮明な（高い分解能の）拡大像などが得られる装置です。また、細く絞った強い電子ビームを利用して結晶方位解析法（Electron Back-Scatter Diffraction；略してEBSD）を用いると、結晶方位や結晶構造の解析を行うこともできます。

パンフレット

適用対象

• 金属材料全般
• セラミックス
• 繊維（蒸着処理必要）

観察項目

• 40～500,000倍での表面形態観察
• 40～100,000倍での反射電子像観察
• エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）による元素定性・半定量分析（B～U）。
• 微小領域の元素同定（定性分析・半定量分析）
• EBSDによる結晶方位や結晶構造の解析

ぼうだより技術がいど記事へのリンク

• EBSD法による結晶解析技術の活用例

適用例

• 原料鉱物微粉末の表面形態観察（無蒸着観察）
• ステンレス鋼における鋭敏化状態（炭化物生成）と結晶方位との関係調査
• 溶接金属凝固組織の結晶方位解析
• 一方向凝固合金の結晶方位解析

保有機器の主な仕様

FE-SEM

分解能；1.5 nm、加速電圧；0.2～30 kV、観察倍率；15～500,000倍

EDS分析装置

分析元素；Be～U

EBSD解析装置

結晶方位；解析最小直径≦0.2 μmφ