(22) 電子線マイクロアナライザ（ＦＥ－ＥＰＭＡ）分析

概要

電子線マイクロアナライザ（Electron Probe Micro Analyzer；略してEPMA）は、細く絞った電子線を試料に照射し、その部位から発生する特性Ｘ線を検出して、照射箇所（試料表面）にどのような元素が（Be～U）、どのような分布状態（0.01 %～100 %）であるかを明らかにできます。

適用対象

• 金属材料全般
• 腐食生成物等の異物

分析項目

• 40～30,000倍で表面の観察
• 微小領域の構成元素の同定（分析元素：Be～Uの定性・半定量分析）
• 線分析
• 面分析、カラーマップ分析

適用例

• 浸炭層の組織評価事例
• 化合物相の2次元分布を可視化EPMAによる相解析及びケミカルシフト解析
• 構造物に付着した腐食生成物の定性・半定量分析による使用環境推定
• 鋼材インゴットや溶接部のカラーマップ分析による成分偏析状態調査
• 浸炭や窒化した製品の線分析やカラーマップ分析による製造条件の適否調査
• 機械構造物の損傷調査における損傷箇所分析
• ワイヤや線材表面付着物の定性・半定量分析

保有機器の主な仕様

分析元素

Be～U、加速電圧：0.2～30 kV、観察倍率：40～300,000倍

試料寸法

100 mm×100 mm×50 mm高