(27) 透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察

概要

透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope；略してＴＥＭ）は、高い加速電圧の電子線を試料に照射し、試料を透過した電子線を電磁レンズで拡大することによって透過電子像や電子線回折像を得ます。透過電子像では結晶粒界、欠陥、ひずみ、析出物の有無などが観察でき、電子線回折像からは結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができます。

適用対象

• 金属材料全般

観察項目

• 約1,000～1,000,000倍での観察
• EDS分析による超微小領域の元素同定（分析元素：C～Uの定性・半定量分析）
• 結晶性物質の同定や結晶方位の解析

適用例

• 鋼中析出物の形態観察と半定量分析、同定解析
• ステンレス鋼における鋭敏化状態の観察と粒界偏析の分析
• 微細凝固組織の元素分配測定
• 溶接金属中非金属介在物の半定量分析、同定解析
• 溶接ヒュームの形態観察と半定量分析、同定解析
• 各種金属における微細析出現象の観察

　　　　　　　　　　　　　　　　[溶接ヒュームの観察]

　　　　　　　　　　　[溶接ヒュームのEDS 定性分析結果]