物理解析

わずかな挙動や微小な領域を測定、観察することで、物質の状態を明らかにします。

走査型電子顕微鏡（SEM、FE－SEM）

細く絞った電子線を試料に走査し、発生した二次電子や反射電子を検出して試料表面を拡大観察したり、同時に発生する特性X線のエネルギーを測定することで、元素の定性・半定量分析を行います。
また、FE-SEMはEBSD検出器を搭載しており、試料の結晶方位や結晶構造を解析することができます。

　[走査電子顕微鏡 SEMと金属の脆性破面の二次電子像]　　　　[電解放出型走査電子顕微鏡 FE-SEMとｽﾃﾝﾚｽ鋼溶接金属の結晶方位ﾏｯﾌﾟ]

SEMやFE-SEMと同様に、電子線を試料表面に走査して観察・分析を行う電子顕微鏡装置ですが、SEMよりも分析機能が充実しています。
特性X線の波長分光装置を搭載しているため、微量元素の検出能力に優れています。また、指定領域内の元素分布を評価する、マップ分析等を行うこともできます。

[電子線ﾏｲｸﾛｱﾅﾗｲｻﾞ FE-EPMA]　　　　　　　 [浸炭ｷﾞｱ歯のﾏｸﾛ組織とC定量ﾏｯﾌﾟ分析]

結晶質の試料に特性X線を照射し回折X線を検出して、結晶構造や転位密度などを解析する装置です。試料を構成する結晶相を定量分析することもできます。

温度プログラムに沿って金属試料を加熱・冷却しながら、試料の体積変化（膨張、収縮）を検出することで、相変態が起こる温度、すなわち変態点を測定することができます。

金属試料を平面研磨してエッチング（酸などによる腐食処理）を行い、金属組織を観察する試験です。
観察倍率は、数倍～1000倍程度です。試料の材質や評価目的に応じて、適切なエッチング手法を選定します。