(48) 材料評価例-3(EBSD結晶方位解析)

内容

○多結晶材料の種々の性質が、結晶方位の分布や方位関係にも依存していることが分かっており、従来はＸ線回折法を使った極点図などで調べていました。近年は、個々の結晶方位を測定し、隣接結晶との方位関係や粒界構造を個別に調べるＳＥＭ／ＥＢＳＤ法が盛んに使われるようになってきました。ＥＢＳＤは、電子線回折によって得られる菊池線パターンを解析し、結晶方位や結晶構造の違いに基づいた組織観察を行う手法です。
（注）EBSD（Electron Back-Scatter Diffraction）