(29)表面粗さ測定

概要

表面粗さ測定には、接触型と非接触型の測定装置があります。接触型は、接触子を試料表面に接触させながら測定します。一方、非接触型は、電子プローブ（走査型電子顕微鏡）やレーザ光（共焦点レーザ顕微鏡）などを用いて、高倍率の像を観察しながら試料表面の微細な凹凸を測定します。

適用対象

• 金属材料全般
• セラミックス、プラスチック

測定項目

• 接触型

・算術平均高さ（Ra）、最大高さ（Rz）、十点平均粗さ（RzJIS）、凹凸の平均長さ（RSm）

• 非接触型

・高低差の測定（μm単位の測定）
・３次元表示

適用例

• 線材表面の粗さ測定によるダイス性能評価
• 加工傷の形状測定による加工精度調査
• 溶接ビード形状の測定
• ワイヤ表面の粗さ測定
• Ｔｉプレート表面粗さ測定
• ボルトネジ部の形状測定
• アルミ板の粗さ測定

保有機器の主な仕様

• 分解能：接触型　；0.0001 μm
  非接触型；0.01 μm （レーザ顕微鏡）
  0.005 μm（FE-SEM）

[接触式粗さ計によるワイヤ表面の測定]

[非接触式粗さ計による500 円硬貨表面の測定]